產(chǎn)品名稱	雙靶等離子濺射鍍膜儀-基礎(chǔ)版
產(chǎn)品型號(hào)	TN-PSP180G-2TA
主要特點(diǎn)	自主研發(fā)、高性價(jià)比 具有結(jié)構(gòu)緊湊，簡(jiǎn)單操作 兩只2英寸標(biāo)準(zhǔn)尺寸等離子濺射靶， 150W直流高壓電源，金屬濺射鍍膜
技術(shù)參數(shù)	1、樣品臺(tái)：尺寸φ100mm；到靶面的距離20~35mm可調(diào) 2、直流濺射頭：數(shù)量2” ×2   3、真空腔體：尺寸：φ180mm × 210mm、材料高純石英、全向透明、頂蓋拆卸式 4、真空系統(tǒng)：雙極旋片真空泵 ；抽氣速率：旋片泵：1.1L/S；極限真空：≥0.1Pa 抽氣/排氣接口：KF16； 真空測(cè)量：電阻規(guī)； 5、濺射電源配置：直流電源 ×1；  max輸出功率:150W,濺射電壓1200V,*大濺射電流50mA
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：500mm ×320mm × 470mm；重量：30kg；供電電壓：AC220V,50Hz；功率1500W

1.鍍膜儀配有通氣接口，可通入保護(hù)性氣體，若客戶需要通入混合氣體，聯(lián)系工作人員自行配置高精度質(zhì)量流量計(jì)以滿足實(shí)驗(yàn)需要。

2.本鍍膜儀標(biāo)配為雙極旋片真空泵，其具有體積小，抽真空快，操作簡(jiǎn)單的優(yōu)勢(shì)，若客戶有進(jìn)一步提升真空度的需要，聯(lián)系技術(shù)人員選配分子泵組組成高真空系統(tǒng)。